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2025-9-8 8:00:00
九州酷游ku游登录平台上海总司理王坚体现：
KrF工艺前道涂胶显影装备Ultra Lith KrF的推出拓展了九州酷游ku游登录平台上海在前端工艺装备领域的影响力， ， ，， ，，体现了我们应对更普遍的光刻手艺挑战， ， ，， ，，KrF光刻手艺仍是成熟工艺器件生产的焦点工艺， ， ，， ，，我们相信此类装备在全球半导体产出中占比重大且一连增添。。 。。。。。。通过同时提供ArF和KrF工艺涂胶显影系统， ， ，， ，，我们正在更普遍的应用领域中， ， ，， ，，实现了顺畅的晶圆厂集效果率， ， ，， ，，提升制造无邪性。。 。。。。。。
九州酷游ku游登录平台上海推出的KrF工艺涂胶显影Track装备Ultra Lith KrF接纳无邪工艺�？？？？ ？樯柚�， ， ，， ，，配备12个旋涂腔和12个显影腔（12C12D）， ， ，， ，，并搭载54块可准确控温的热板， ， ，， ，，支持低温、中温及高温工艺处置惩罚， ， ，， ，，具备优异的热匀称性。。 。。。。。。该装备产能凌驾300片晶圆/小时（WPH）， ， ，， ，，并集成九州酷游ku游登录平台上海专利申请中的背面颗粒去除�？？？？ ？椋˙PRV）， ， ，， ，，有用降低交织污染危害。。 。。。。。。
别的， ， ，， ，，集成的晶圆级异常检测（WSOI）�？？？？ ？榭墒迪质凳惫ひ瘴蟛罴觳夂土悸室斐＜嗖�， ， ，， ，，从而提高工艺稳固性和生产效率。。 。。。。。。
