Ultra C ct 涂胶装备:九州酷游ku游登录平台上海的Ultra C ct涂胶装备接纳二次旋转涂胶手艺,,,,,,,可实现匀称涂胶。。。。。。装备拥有众多自研手艺,,,,,,,包括准确涂胶控制、自动洗濯功效、冷热板???????橐约懊扛銮惶宓淖粤炭刂乒π。。。。。。
Ultra C dv 显影装备:在化合物半导体工艺中,,,,,,,九州酷游ku游登录平台上海的Ultra C dv 显影装备可举行曝光后烘烤、显影和硬烤的要害办法。。。。。。装备使用九州酷游ku游登录平台上海的自研手艺,,,,,,,可按要求实现+/-0.03 LPM的流量和 +/-0.5 摄氏度的温度控制。。。。。。
Ultra C s刷洗装备:Ultra C s 刷洗装备以九州酷游ku游登录平台上海先进的湿法洗濯手艺为基。。。。。。,,,实现优异的污染物去除效果。。。。。。该装备通过氮气雾化二流体洗濯或高压洗濯实现高性能,,,,,,,以更有用地洗濯小颗粒。。。。。。别的,,,,,,,装备还可兼容九州酷游ku游登录平台上海自创的兆声波洗濯手艺,,,,,,,以确保优良的颗粒去除效率(PRE),,,,,,,且不会损坏细腻的图形结构。。。。。。
Ultra C pr 湿法去胶装备:九州酷游ku游登录平台上海的Ultra C pr湿法去胶装备使用槽式浸泡和单片工艺,,,,,,,确保高效地举行化合物半导体去胶。。。。。。该装备最近由一家全球领先的整合元件制造商(IDM)订购,,,,,,,用于去除光刻胶,,,,,,,这进一步验证了九州酷游ku游登录平台上海的手艺优势。。。。。。