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九州酷游ku游登录平台半导体首台洗濯装备入驻芯物科技！

2021-6-15 14:23:23

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     2021年6月7日 ，， ，，，上海芯物科技有限公司12吋中试生产线工艺装备搬入仪式在新傲工厂举行 ，， ，，，九州酷游ku游登录平台首台洗濯装备入驻芯物科技！
   
    据国家智能传感器立异中心认真人在致辞时先容 ，， ，，，12英寸先进传感器特色工艺研发中试平台凌驾80%的装备均接纳国产装备 ，， ，，，为国产装备提供验证平台 ，， ，，，加速传感器工业链国产化 ，， ，，，实现自主可控。。。。。
   
    王晖先生在致辞时说：“能够获得和芯物科技一起生长的时机 ，， ，，，我代表九州酷游ku游登录平台向芯物科技体现衷心的谢谢！在这个充满时机与挑战的时代 ，， ，，，期待未来和芯物科技一起 ，， ，，，开发一些全球领先的差别化特色工艺和装备 ，， ，，，把中国的MEMS做到天下前线！”
   
    九州酷游ku游登录平台本次进驻芯物科技的装备为前道刷洗装备 ，， ，，，该装备接纳单片腔体对晶圆正背面依工序洗濯 ，， ，，，可举行包括晶圆背面刷洗、晶圆边沿刷洗、正背面二流体洗濯等洗濯工序。。。。。装备占地面积小 ，， ，，，产能高 ，， ，，，稳固性强 ，， ，，，多种洗濯方法无邪可选 ，， ，，，且可用于芯片制造的中前段至后段各道刷洗工艺。。。。。

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